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                全自動快速退火爐

                快速退火爐,快速退火爐廠家,快速退火爐制造商。廣東瑞樂半導體科技有限公司是專業的快速退火爐廠家,專注于研發生產快速熱退火爐,RTP快速退火爐,RTA快速退火爐,Anneal快速退火爐,GaN快速退火爐,GaAS快速退火爐,石墨快速退火爐,LED快速退火爐,GaN LED快速退火爐,碳化硅快速退火爐,太陽能多晶硅基片,紅外快速退火爐,真空快速退火爐,高溫快速退火爐,晶圓快速退火爐,紅外退火爐,TCwafer等產品,歡迎來電咨詢。

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                全自動快速退火爐

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                一、技術規格

                2.1參數

                RTP-DTS

                最大產品尺寸

                最大處理300×300mm

                兼容4寸4片(可兼容4寸9片)或6寸4片

                機臺尺寸

                2200×2300×2050(寬×深×高)

                Cassette Ports

                4個

                腔體數量

                雙爐體

                溫度范圍

                室溫~1250

                溫度測量

                K型熱電偶

                紅外高溫計可選

                最高升溫速度

                100/s可編程(此溫度為不含載盤的升溫速度)

                25/sSiC載盤)

                溫度均勻度

                ±5℃≤500℃

                ±1%>500℃

                溫度控制重復性

                ±1

                恒溫持續時間

                可依據要求編程

                溫控方式

                快速PID溫控

                降溫速度

                200/min1000~400℃)不可編程

                腔體設計

                可配置大氣常壓腔體或者真空腔體

                真空泵

                配備真空系統

                真空度控制方式

                APC自動壓力控制系統,實現恒壓控制

                Robot

                晶圓Robot

                腔體冷卻方式

                水冷腔體,獨立水冷源控制冷卻

                工藝氣體

                MFC控制,路氣體(可選N2 / O2 / GN2

                控制方式

                工業電腦+PC control

                無塵等級

                Class 100




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                周一到周五

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